Доклады АМАН. Т. 25, № 2. С. 25–36. 

Читать статью                                                                                                            Содержание выпуска

DOI: https://doi.org/10.47928/1726-9946-2025-25-2-25-36
EDN: BTOARA

ФИЗИКА

УДК 621.385.3

Научная статья

Разработка и создание базовых компонентов
вакуумной микроэлектроники

Бавижев Михаил Данильевич
доктор физико-математических наук, профессор, лауреат Государственной премии РФ в области науки и техники, действительный член АМАН, вице-президент, директор научно-исследовательского центра Акционерного общества Научно-производственное предприятие «Радий» (125057, Россия, Москва, ул. Часовая, 28), ORCID: https://orcid.org/0000-0003-3074-5591, Mbavizhev@mail.ru
Бавижев Заур Рамазанович
cтарший научный сотрудник Акционерного общества Научно-производственное предприятие «Радий» (125057, Россия, Москва, ул. Часовая, 28), zu588@mail.ru

Аннотация. В работе представлены результаты масштабной научно-исследовательской работы коллектива ученых АО «НПП «Радий» и КБГУ по созданию опытных образцов автоэмиссионных катодов, сеточных узлов и макета вакуумного микротриода как базовых компонентов вакуумной микроэлектроники и исследованию их параметров. Конструкция макета включает катод с автоэмиссионной пленкой, выполненной в виде селективной полоски, размещенной на кремниевой подложке, а также анодно-сеточной узел (АСУ), который также сформирован на кремниевой основе.

Ключевые слова: вакуумная микроэлектроника, холодный катод, кремниевая сетка, триод.

Финансирование. Работа не выполнялась в рамках фондов.
Конкурирующие интересы. Конфликтов интересов в отношении авторства и публикации нет.
Авторский вклад и ответственность. Авторы участвовали в написании статьи и полностью несут ответственность за предоставление окончательной версии статьи в печать.

Для цитирования. Бавижев М. Д., Бавижев З. Р. Разработка и создание базовых компонентов вакуумной микроэлектроники // Доклады АМАН. 2025. Т. 25, No 2. С. 25–36.
DOI: https://doi.org/10.47928/1726-9946-2025-25-2-25-36; EDN: BTOARA

Поступила 18.04.2025; одобрена после рецензирования 15.06.2025; принята к публикации 21.06.2025.

© Бавижев М. Д., Бавижев З. Р., 2025

Список использованных источников

1. Стародубов и др. // Радиотехника и электроника, 2022. Т. 67, № 10. C. 935–945. DOI: 10.31857/S0033849422100126
2. Лунин Л. С. и др.// Кристаллография, 2013. Т. 58, № 3. С. 501–504.
3. Tsyganov E. N. Cold nuclear fusion / Tsyganov E.N., Bavizhev M.D. et.al. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Selection B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2015. Vol. 355. Pp. 333–339.
4. Бавижев М. Д. и др.// Микро- и нанотехнологии в электронике, Материалы XIV Международной научно-технической конференции. Нальчик, 2024. С. 350–354.
5. Бавижев З. Р. и др.// Наноиндустрия, 2021. S7 (107). С. 522–524.
6. Бавижев З. Р. и др.// Наноиндустрия, 2022. S8-2 (113). С. 413–415.
7. Бавижев З. Р. и др.// Наноиндустрия, 2024. Т. 17, S10-2 (128). С. 458–461.

Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.